报告题目：聚焦氦离子束在材料纳米加工和纳米成像中的应用
报告人： 杨继进 正高级工程师，博导
中国科学院地质与地球物理研究所
时间： 5月28日（周四) 下午2:30
地点： 卢嘉锡楼报告厅（202）
以下是报告的摘要和报告人简介部分：
报告摘要：
聚焦离子束-扫描电镜 (FIB-SEM) 在各种材料成像和微米-纳米加工等领域已获得了广泛的应用，而很多新兴的领域对材料成像和微米-纳米加工提出了更为苛刻的要求。本报告将讨论一种新兴的双束系统：聚焦离子束-氦离子显微镜 (FIB-HIM)双束系统，着重介绍在不导电的材料成像和亚10纳米的器件加工等领域的实际应用。
报告人简介：
杨继进，博士，现为中国科学院地质与地球物理研究所正高级工程师，博士生导师。中国东北大学学士和硕士学位，美国东北大学博士学位。此前分别在美国卡尔蔡司公司、美国麻州大学和中国东北大学主要从事电子和离子显微镜成像和纳米加工技术研发、显微镜实验室平台建设、材料科学和行星与地球科学研究等工作。在GCA、Nanotechnology、Nature等期刊发表30余篇学术论文。
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固体表面物理化学国家重点实验室
化学化工学院
2015年5月26日
